二手 KLA / TENCOR 2351 #9251384 待售

KLA/TENCOR 2351是一種自動化的掩模和晶片檢測設備，設計用於檢測集成電路（IC）掩模和半導體晶片上的物理缺陷和汙染物。該系統可以測量IC掩碼和晶片上的模式和單個元件，如晶體管門、叠加和互連。該單元使用差分幹涉對比度（DIC）光學成像和自動可編程模式識別算法的組合來檢查掩模或晶圓上的組件。該機器設計用於檢查多達12英寸晶片或掩模的表面,並且可以輕松集成到IC制造管線中。通過DIC成像獲得的圖像首先發送到工具的集成處理單元進行進一步分析。此處理單元能夠檢測缺陷以及其他表面變化,如劃痕、瑕疵和汙染。此外,該資產還包括一個用戶友好的圖形用戶界面（GUI）。這允許用戶自定義檢查參數和用於測試的算法。例如,用戶可以選擇在不同的對比度級別或在不同的區域中檢查晶圓或掩碼的某個部分。此外,用戶還可以自定義模型,以檢測關鍵缺陷（如電線短褲和開放回路）或檢查較小的特征（如接觸通風孔和護墊。另外，KLA 2351可以識別模式變化和降解。它還可以檢測晶圓或掩模上的顆粒汙染。該設備配有高分辨率鏡頭，可精確捕捉和分析低至0.4微米的小特征。此外,它還能夠捕獲反射率小於0.2%的反射面圖像。總體而言，TENCOR 2351系統是分析集成電路掩模和晶片的物理缺陷、汙染和其他不規則性的有效工具。憑借其可編程模式識別算法、用戶友好的GUI和高分辨率成像能力，該單元是自動IC檢測和分析的理想選擇。