二手 KLA / TENCOR 2360 IS #9187557 待售

KLA/TENCOR 2360 IS是一種堅固的掩模和晶圓檢驗設備，旨在滿足鑄造和先進邏輯制造商的需求。它先進的算法和先進的光學系統使它能夠以前所未有的速度和精度準確地識別和測量掩模和晶片上的關鍵特征。其全掩模檢測能力提供高精度缺陷檢測，包括線緣粗糙度（LER）測量，精度為1納米。其基於光源的檢測技術檢測微接觸抗反射塗層（MARCs）和薄膜，以及面膜上的局部缺陷。系統還執行自動缺陷分類，確保識別和過濾過程引起的缺陷，降低整體誤報率。它的晶圓檢查功能包括高級自動化缺陷隔離、映射以及用於缺陷審查工具的接口,從而能夠快速分析缺陷模式。該單元還具有低噪聲、多像素成像功能，使其能夠檢測到單像素靈敏度可能遺漏的缺陷。它還提供高速、高分辨率晶圓叠加計量學、神經網絡分類和缺陷跟蹤算法，以進一步提高精度。KLA 2360 IS包括一臺自動光學檢查（AOI）機器，允許對晶圓和其他基材進行全面檢查。此工具具有自動模式匹配和現場檢查功能,用於足跡、線寬、臨界尺寸（CD）、叠加和折叠檢查,使制造商能夠降低產量和成本。此外，其靈活的源架構能夠適應不同層次的視覺校正，包括非聚焦和前表面外觀分析。TENCOR 2360 IS提供高級自動化系統,用於設置和幫助進行流程規劃。其自動校準功能可用於快速準確地調整資產以滿足特定於工作的要求。這樣就無需手動校準,從而節省了時間和成本。其用戶友好的GUI還允許用戶通過最少的培訓來配置和操作模型。總體而言,2360 IS是一種功能強大且精密的設備,可為掩模和晶片檢查提供寶貴的性能和效率。憑借先進的算法、先進的光學技術和全面的自動化，它是市場上最好的掩模和晶圓檢測系統之一。