二手 KLA / TENCOR 2360 #293606935 待售

KLA / TENCOR 2360
ID: 293606935
Brightfield inspection system.
KLA/TENCOR 2360是一種掩模和晶圓檢測設備,旨在檢測和識別具有挑戰性的陣列幾何上的缺陷。它提供高速數據分析和提高吞吐量的高精度自動化檢查。該系統是高度可配置的,具有一系列集成模塊,旨在滿足各種應用程序的需求。KLA 2360的主要部件是其圖像傳感器、彩色成像技術和光學子系統。圖像傳感器由可變數量的直線掃描攝像機組成,這些攝像機記錄所檢查的圖樣幾何的二維圖像。彩色成像技術使用多種算法處理圖像數據並隔離潛在的缺陷特征。一旦識別出潛在的缺陷特征,光學子系統就會評估這些特征並確認它們是否存在。TENCOR 2360還具有一系列先進的自動化檢測選項,如自動設備分類和特征識別、過程控制參數、數據提取算法以及廣泛的報告選項。此外,用戶還可以通過諸如分辨率和視野設置、圖像增強軟件、可編程邏輯控制器和特征參數提取等選項來定制其設備,以滿足其確切的應用程序需求。機器可以檢測到一系列小至0.2微米的缺陷,以及復雜的幾何圖案、汙染和橋接。其先進的成像和光學子系統可最大限度地減少錯誤缺陷檢測和改進缺陷隔離,而其強大的數據分析則可實時捕獲和處理大量信息。2360允許直接連接到一系列主機控制系統,並提供簡單的設置、安裝和操作過程。該工具旨在支持並發的多個系統,其用戶控制臺可分為兩個供兩個同時使用的用戶使用。此外,資產的組件是可維護和升級的。總之,KLA/TENCOR 2360是一種高度可配置和自動化的模型,旨在檢測一系列缺陷,並減少了錯誤缺陷檢測和改進了數據分析功能。它允許簡單的設置和操作過程,並為自定義應用程序提供了一系列選項和功能。
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