二手 KLA / TENCOR 2365 #9237491 待售

KLA/TENCOR 2365是一種半自動設備，設計用於掩模和晶圓檢查。該系統提供高性能成像、激光掃描光學顯微鏡和聯網功能，以進行有效的掩模和晶圓檢查。針對口罩、薄片、平板顯示器等大幅面基板的檢測進行了優化。KLA 2365的核心是一個先進的CCD成像單元，它捕獲全面的圖像，並為各種基板提供高保真檢測能力。該機器提供四種成像模式-區域、邊界、線條和光斑-以及五種成像分辨率,從0.7微米到5微米。這種通用的成像工具可以檢查厚薄的金屬氧化物層、氧化物薄膜和其他復雜材料。TENCOR 2365還具有先進的激光掃描光學顯微鏡資產。該模型能夠產生高分辨率圖像，整個芯片的分辨率小至4.5納米。掃描和縮放也是可能的,允許用戶獲取詳細信息到功能級別。此外,2365還具有許多聯網功能。它配備了以太網和USB 2.0接口，可以與其他KLA系統聯網，允許各單元之間的數據和圖像共享。KLA/TENCOR 2365是一種通用的掩模和晶圓檢測設備,能夠檢測薄基材和厚基材的缺陷、不合格和異物。其CCD成像系統和激光掃描光學顯微鏡以小至4.5納米的分辨率提供高保真檢查。此外,它還可聯網,包括以太網和USB 2.0接口等功能,並支持其他TENCOR系統,從而實現高效的數據和映像共享。