二手 KLA / TENCOR 2365 #9251385 待售

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ID: 9251385
晶圓大小: 8"
優質的: 2006
Inspection system, 8" 2006 vintage.
KLA/TENCOR 2365掩模和晶片檢查設備是一種高度自動化、高精度的成像工具,旨在促進各種自動化檢查任務。該系統配備了各種先進的功能,能夠實現高速、高分辨率的成像、分析、關聯和識別任務。KLA 2365具有全方位的圖像采集模式,包括多場、多對比度成像、頻閃、暗場和多種其他高級成像技術。該設備可配置為能夠自動對齊掩模基板,從而實現高達500 mm/秒的掃描速度。此外,鏡頭設計被配置為提供一個小的工作領域和非常高的分辨率低至1 μ米。TENCOR 2365具有集成的圖像分析套件,配有用於模糊缺陷檢測和精確缺陷識別的高級工具。這些工具可實現快速、自動的關聯和識別任務。這包括能夠在單個CCD成像周期內查找、檢測和識別眾多對象的圖像,包括粒子、劃痕、劃痕和高、低、雙側缺陷。2365還具有實時、在線缺陷審查和列表編輯功能。這樣就可以對實時產品進行性能監控和改進,而無需執行檢查後審核步驟。KLA/TENCOR 2365掩模和晶圓檢測機是為滿足先進半導體器件檢測市場的需求而設計的。該工具具有多場、多對比度成像、頻閃、暗場和其他各種先進成像技術等特點,是最全面、最精確的掩模和晶圓檢測解決方案之一。
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