二手 KLA / TENCOR 2367 #200219 待售

KLA/TENCOR 2367是一種精密的設備，設計用於分析用於生產集成電路（ICs）的晶圓基板和標線。這臺先進的機器檢查每個標線內和周圍的各種組件的表面缺陷、形狀不規則性和電氣缺陷。KLA 2367還向用戶提供了一份詳細的報告，說明每個被測試晶片的狀態和完整性。TENCOR 2367設計用於半導體生產線。它結合了一系列不同的成像和檢查技術，如電荷耦合器件（CCD）和X射線成像、能量色散X射線光譜（EDS）和掃描電子顯微鏡（SEM）。這些技術進入一個自動化的數據采集系統，該系統收集關於每個被檢查的掩模和晶片的電子和結構特征的詳細信息。檢查過程從對每個晶片表面進行徹底掃描開始。2367然後隔離潛在缺陷，如空隙、裂縫、劃痕和針孔。然後使用CCD和X射線成像儀來識別每個缺陷的確切位置。KLA/TENCOR 2367的高分辨率SEM和EDS功能用於掃描電氣缺陷。它可以檢測晶體管掩模的不規則性以及接線模式之間的距離。一旦發現所有缺陷，設備就會在輸出關於每個被檢查晶片狀態的綜合報告之前對數據進行編譯和分析。可以從檢查報告中提取關鍵信息,包括缺陷大小、位置、嚴重程度以及可能的環境或機械原因。KLA 2367旨在提供整個晶圓表面積的詳細分析。它提供了對圖樣和非圖樣缺陷的可靠檢測，並為檢驗質量和準確性設定了標準。TENCOR 2367憑借其全球支持機器和完善的服務網絡,是半導體制造商面臨生產高端設備挑戰的理想選擇。