二手 KLA / TENCOR 2367 #293794239 待售

KLA/TENCOR 2367是一種高水平、高精度的掩模和晶圓檢測設備。它旨在為需要高度控制和準確性的環境提供快速、可靠和全面的缺陷檢查和分析。該系統采用3D成像、掃描和圖像分析算法的組合，檢測半導體掩模和晶片結構中的缺陷並進行分類。KLA 2367基於使用專有高清成像技術的強大多軸單元。它允許基於最多四個運動軸的全場3D成像和掃描區域覆蓋。機械機器由負責控制運動四軸運動的高分辨率編碼器驅動。這樣就能夠以非常高的精度高速獲取大量圖像。TENCOR 2367采用的先進3D成像技術負責高分辨率成像和缺陷協議識別。該成像工具與復雜的圖像分析算法一起用於檢測和分析掩模和晶片結構中的缺陷。資產對所有類型的尺寸、薄膜和表面缺陷（包括凹坑、碎屑、裂縫、劃痕和表面粗糙度）執行自動缺陷識別,並生成有關缺陷分析的詳細報告。另外,2367是一個集成的計量模型,能夠測量對象在3D.設備的精密探頭負責測量，並與控制器相連，以確保精確的位置精度和可重復性。然後通過系統的集成軟件分析和報告測量結果。此外，KLA/TENCOR 2367還有額外的功能，為用戶提供更大的靈活性和控制。例如,它具有自動自動對焦單元,可確保在整個掃描字段上精確聚焦,從而消除手動調整。此外,該計算機還具有用於高速掃描的「快速模式」掃描選項,以及配置各個感興趣的區域的功能,從而能夠對目標缺陷進行快速描述。總體而言，KLA 2367是一種先進的工具，設計用於掩模和晶圓的檢查和分析。它利用先進的成像和圖像分析技術，結合精確的運動控制和計量，提供快速、可靠和準確的缺陷識別和表征。