二手 KLA / TENCOR 2367 #293815941 待售

KLA/TENCOR 2367是一款配備了先進工藝控制和產量管理能力的掩模和晶圓檢測設備。該系統的目的是確保通過嚴格的過程控制和可重復性來實現掩碼和晶片的完整性。該單元集成了高速掃描、圖像處理和檢測分析，以便檢測掩模和晶圓級的缺陷。KLA 2367具有檢測粒子級缺陷和可變性的能力，使用戶能夠準確監控過程控制參數並確保正確的產率。它還可以在一次掃描中檢測到微妙的缺陷和變異性，否則這些缺陷和變異性在傳統的檢查平臺中可能不會被發現。該機器具有自動對準和晶片映射功能,以及高度敏感的計量工具,可幫助確保以最高精度實現掩碼和晶片的可重復性。TENCOR 2367提供了兩種檢測模式：亮場和暗場。Brightfield inspection are designed to exected contrast variations, specle level defects, and blementary bilm defects.它還可以檢測可能影響晶圓和掩模產量的顆粒或汙染物。另一方面，暗場檢查旨在檢測顆粒級缺陷，以及暗點和基質中的其他非均勻性。2367是一項強大的資產,它提供了許多用於檢查掩碼和晶片的高級功能。它具有高效的自動化圖像處理和易於使用的直觀工具,使其易於使用和維護。其高分辨率能力，結合實時過程控制和產量管理，使其成為滿足關鍵掩模和晶圓檢測要求的理想解決方案。快速掃描速率確保可以在一次掃描中對缺陷和可變性進行全面監控。這使得關鍵晶片和掩模的收率準確可靠。