二手 KLA / TENCOR 2367 #293819065 待售

KLA / TENCOR 2367
ID: 293819065
Inspection system.
KLA/TENCOR 2367是KLA Corporation開發的高效、高質量的掩模和晶圓檢測設備。KLA 2367使用先進技術在晶圓級和掩模級提供了缺陷的快速檢測,並提供了結果的信息性分析。該系統包括一個雙光束激光投影單元,可獨立檢測掩模兩側的規格,在該單元上對掩模圖樣進行快速、準確的分析。再者,TENCOR 2367集成了多種先進的光學方法,如散射測量,並有幾種自動過程來保證檢查的準確性和優化。2367提供晶片的高分辨率成像,減少了與缺陷檢測相關的時間和成本。通過改變每個像素上的強度水平,它很容易檢測到微妙的缺陷--甚至是蒙版圖像中的微小顆粒或細線。它還能夠檢測掩碼上突出或隱藏的圖樣、亞像素缺陷、電氣和光學缺陷、叠加和叠加錯誤對齊。此外,KLA/TENCOR 2367機器還可以生成缺陷圖,用於識別掩模模式和可能改進的區域。KLA 2367工具還提供了一些增強其功能和有效性的功能和選項。例如,它包括一個強大的圖像處理軟件,可以從SEM(掃描電子顯微鏡)圖像生成3D體積數據。它還提供可定制的測量溫度設置,以確保不同晶片的精度,以及控制塵埃探測面積、紫外線激光強度、曝光時間等能力。此外,它與各種類型的樣品,如晶片和口罩兼容,以確保準確、高速的處理。總之,TENCOR 2367是一種先進的掩模和晶圓檢測資產,采用最先進的技術檢測和分析缺陷。它提供快速可靠的檢測結果,可以生成信息豐富的缺陷圖和圖像。它還包括一系列可定制的功能,以確保準確性和精確度。2367具有高分辨率成像和圖像處理功能,非常適合半導體和掩模制造行業。
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