二手 KLA / TENCOR 2367 #9197191 待售
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已售出
ID: 9197191
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Inspection system, 12"
Wafer calibration kit include DSW / Shiny
Carrier ID HW Options
KEYENCE BCR single wire (2 CID devices)
Safety interlocks:
Open panel
Lamp
Facilities:
Power: 208V, 3 phase
Vw: 25 in Hg
CDA: 5 Sft/min
Exhaust: 600 ft3/min
Exhaust: 100 ft3/min
Exhaust: 1300 ft3/min
Integrated mini environment included
FEC Computer system with the following minimum features:
Intel pentium 4 CPU 3.00GHz
504MB memory (RAM)
Dell computer
Intel xeon CPU 3.4GHz
2GB Memory (RAM)
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
IDM
InlineADC
ITF
Load port UI
MDAT
Mixed mode
NFS Data transfer
HSMS / GEM Semi E37 compliant ethernet interface:
HSMS (E5 / E30 / E37)
GEM/SECS Automation interface (E4 / E5 / E30)
SEMI E84
SEMI E116
Hokuyo sensors for use with:
Overhead transport (OHT)
Remote guided vehicles (RGV/AGV)
Auto switch for dual use environments
Basic automation package: E39, E87, E90 (Carrier management/wafer tracking)
Advanced automation package E40. E94 (Process job, control job)
Spatial population analysis:
Power options
Array segmentation
Patch images: 64x64
Pixel perfect
RBB
RBMT
Sensitivity tuner
NPA
Photo option:
FEM
PWQ
Interface:
Data transfer
DVD-R
Ethernet
23XX Options :
Pixel size:
Visible: 0.25/0.39/0.62
IV Broadband & narrowband: 0.12/0.16/0.20
Full sky: 0.12/0.16/0.20
Edge contrast: 0.12/0.16/0.20
Hardware optic :
BB Visible pixels (0.62 mm, 0.39 mm, and 0.25 mm)
BB/I-Line/G-Line UV pixels (0.20 mm, 0.16 mm, and 0.12 mm)
Edge contrast
1600 MP PS Image computer
Array / Random modes
High mag review optics
Anti-blooming TDI
High resolution review camera
General system info:
Loading configuration: FOUP
(2) Cassette
(2) FOUP Positions
System on-line: Yes
Line conditioner: Yes
Cables: Yes
Fan module: Yes
Shipping brackets installed upon deinstall: Yes
GEM/SECS Interface: Yes
Hard disk: 876G
Currently stored in cleanroom
2007 vintage.
KLA/TENCOR 2367是為芯片制造行業設計的自動掩模和晶圓檢測設備。它結合了先進的成像、幹涉測量和顯微鏡技術，提供無與倫比的圖像精度和性能。該系統包括一個工具級機床，裏面裝有一個具有各種可配置參數的數字圖像投影設備。KLA 2367的集成五軸運動學允許投影裝置和樣品在三個軸上的高精度運動，同時保持相同的焦點。TENCOR 2367利用亮場、暗場和偏振照明提供對比度和反射率,以便能夠檢測和映射各種缺陷類型,包括邊緣缺陷、細線斷開和未對準缺陷。2367還采用先進的算法來增強對比度、阻塞和聚類、圖像分割和映射,從而能夠檢測最微妙的異常。該單元采用了先進的圖像過濾技術，如缺陷分類、降噪、假顏色對比等，進一步減少了誤報數量，確保晶圓檢測的最高精度。在刀具級別,機器包括一個用戶界面軟件包,該軟件包具有可自定義的界面、設置、檢查/校準、缺陷審查和過程優化功能。用戶界面將直觀控件與圖形顯示和多語言支持相結合。用戶界面包括快速簡便的圖像查看、缺陷大小和具有各種報告功能的位置映射。報告可以定制並以行業標準格式導出,以便於數據共享和存儲。KLA/TENCOR 2367專為準確性和可靠性而設計,提供了一些功能,可幫助用戶快速高效地執行缺陷診斷、審查和處理。KLA 2367具有靈活、模塊化的設計和集成軟件，是晶圓和掩模檢測應用的重要工具。
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