二手 KLA / TENCOR 2367 #9206183 待售
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已售出
ID: 9206183
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Inspection system, 12"
Carrier ID readers
OS: Windows 2000 SP4
HSMS / GEM Semi E37 compliant ethernet interface:
HSMS (E5 / E30 / E37)
GEM/SECS Automation interface (E4 / E5 / E30)
SEMI E84
SEMI E116
Hokuyo sensors for use with:
Overhead transport (OHT)
Basic automation package: E39, E87, E90 (Carrier management/wafer tracking)
Advanced automation package E40. E94 (Process job, control job)
InlineADC
ITF
Load port UI
MDAT
Mixed mode
NFS Data transfer
Spatial population analysis:
Power options
Array segmentation
Patch images: 64x64
Pixel perfect
RBB
RBMT
Sensitivity tuner
NPA
Interface data transfer DVD-R ethernet
Hardware optic:
BB Visible pixels (0.62 mm, 0.39 mm, and 0.25 mm)
BB/I-Line/G-Line UV pixels (0.20 mm, 0.16 mm, and 0.12 mm)
Edge contrast
1600 MP PS Image computer
Array / Random modes
High mag review optics
Anti-blooming TDI
High resolution review camera
2006 vintage.
KLA/TENCOR 2367是一種掩模和晶圓檢測設備，結合了最佳的光學和圖像傳感器技術，提供卓越的可視化和缺陷檢測。該系統包括兩個獨立的6軸級模擬器，用於掩模和晶圓檢查。它還有一個用於亮場、暗場和紫外線成像的紫外線光源。它具有自動化、可編程的照明器，可在多個頻率上成像，並具有集成的後門功能。蒙版檢查單元（MIS）具有254mm的視野,可用於高放大率的真實區域檢查。它具有先進的3D功能,如視圖縫合和波前計量,用於精確檢查和叠加功能。機器還可以識別和捕獲表面汙染和顆粒等小缺陷的清晰圖像。晶圓檢查工具（WIS）是一種獨立的資產,可以為每個應用程序定制。該模型包括用於缺陷檢測的高分辨率成像相機和廣域光學器件，以及用於表面成像的多個照明器。WIS還包括一個多點觸控顯示和圖形用戶界面，用於直觀操作。KLA 2367是用於掩模和晶圓檢驗的可靠設備。它提供可編程控制和自動排序,以實現快速、準確的篩選。它還采用先進的分析技術來識別小缺陷類型和易於傳輸的圖像。該系統用戶友好,可檢查停機和錯誤成本高的產品。TENCOR 2367是口罩和晶圓制造、半導體工業的絕佳解決方案。它通過當今最先進的技術檢查產品,是提高效率和質量的寶貴工具。憑借強大的功能和靈活性,該設備可以在短時間內輕松檢測和捕獲子級和表面級缺陷。它為自動化和手動操作提供了卓越的支持,有助於確保任何項目的最高質量結果。
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