二手 KLA / TENCOR 2367 #9276696 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9276696
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Inspection system, 12"
Carrier ID readers
Operating system: Windows 2000 SP4
HSMS / GEM Semi E37 compliant ethernet interface:
HSMS (E5 / E30 / E37)
GEM/SECS Automation interface (E4 / E5 / E30)
SEMI E84
SEMI E116
Hokuyo sensors for use with:
Overhead transport (OHT)
Basic automation package: E39, E87, E90 (Carrier management / wafer tracking)
Advanced automation package E40. E94 (Process job, control job)
InlineADC
ITF
Load port UI
MDAT
Mixed mode
NFS Data transfer
Interface data transfer DVD-R ethernet
Spatial population analysis:
Power options
Array segmentation
Patch images: 64 x 64
Pixel perfect
RBB
RBMT
Sensitivity tuner
NPA
Hardware optic:
BB Visible pixels (0.62 mm, 0.39 mm, and 0.25 mm)
BB/I-Line/G-Line UV pixels (0.20 mm, 0.16 mm, and 0.12 mm)
Edge contrast
1600 MP PS Image computer
Array / Random modes
High mag review optics
Anti-blooming TDI
Review camera
2007 vintage.
KLA/TENCOR 2367是專門為模具和基板的精確光學檢測而設計的掩模和晶片檢測設備。KLA 2367對底物進行了詳細、全面、準確的缺陷檢測，同時為許多應用提供了極高的可重復性和靈活性。該系統配有5MP濺射塗層科學級CCD相機，用於高分辨率檢測。相機的視場為25.4/17.6毫米,提供5、2.5、1.25微米/像素的可選成像分辨率,以及1微米/像素傳輸模式功能。TENCOR 2367還采用了一種專有的CMOS傳感器技術,可在檢查精細特征和幾何形狀時消除成像失真。這是通過獲得專利的無校準技術實現的，該技術提供了極好的可重復性。2367的專利對準技術使單位能夠提供極為精確的檢驗結果。在檢查過程的每個步驟中，被測樣品通過獨特的編碼機制與檢測網格對齊。這樣可以確保每個樣品的數據都可以精確定位在成像光學器件下-無論樣品在機器中的位置如何。內置的縫合算法提供了一個「滑動和縫合」功能，允許工具在利用舞臺非線性和非對稱性進行補償的同時制作動態圖像馬賽克。這意味著來自基板各部分的數據，包括返工、共晶和模具附著區域，可以比較容易。KLA/TENCOR 2367也是為快速高效的缺陷檢測而設計的。使用高通量的機動化級,資產能夠以高達200 mm/秒的速度掃描整個基板。此外,它還支持集成各種數據輸出源（如EDA鏈接）,以簡化缺陷到設計的數據傳輸。總之，KLA 2367是檢測晶片和掩模的理想模型。它結合了精密成像、先進的對準技術和高效的縫合算法，確保用戶在檢查底物缺陷時獲得最高精度。
還沒有評論