二手 KLA / TENCOR 2367 #9293245 待售

KLA/TENCOR 2367掩模和晶片檢測設備是一種先進的自動化晶片和掩模檢測系統，旨在快速準確地分析半導體制造過程。它利用一個全自動和集成的儀器、軟件和光學單元來檢測半導體晶片上的視覺和計量缺陷，其精度和速度比傳統的檢測方法更高。KLA 2367檢測機配備了高分辨率晶圓概述相機、自動光學定位（AOP）等先進功能，以及圖案化和缺陷識別工具。全場成像子系統利用光束分離器和CCD攝像機實現了卓越的圖像分辨率和模式識別，同時最大限度地減少了攝像機的失真。這確保了任何缺陷都可以比傳統的檢測技術更快、更容易地被檢測到。TENCOR 2367強大的AOP功能允許在目標位置0.25 μ m內進行極其精確的基板對準。此外，該工具還具有通過缺陷識別算法和圖像處理識別不同類型缺陷的能力。模式識別工具使資產能夠根據不同的模式檢測缺陷，如通過傳統檢查方法未發現的缺陷。該模型還提供了關鍵特征的測量和分析,例如相鄰特征之間的幾何距離、與預期形狀的變化以及從多個角度或視圖點的設備特征之間的距離。為了進行更詳細的分析，2367還提供了一個高級計量包，具有精確和精確測量的功能。設備的定量分析工具支持缺陷跟蹤和評估以及特征/結構表征。此外,系統還提供了一種特征分析工具,可以極精確地檢測特征大小和形狀變化。總體而言，KLA/TENCOR 2367掩模和晶圓檢測儀是一種健壯的自動化檢測機，可以幫助半導體制造商降低擁有成本，提高盈利能力。該工具的高級功能和強大的分析工具可以更快、更輕松地檢測缺陷,同時提供卓越的準確性和精確度。這樣，KLA 2367保證了半導體制造過程中的質量控制。