二手 KLA / TENCOR 2370 #9184317 待售

KLA/TENCOR 2370是一種下一代的掩模和晶片檢測設備，提供對光刻光柵和晶片的高分辨率檢測。KLA 2370使用先進的激光光源提供卓越的成像能力,包括可變光斑激光和亮場照明。成像系統允許檢查從低壓到超高分辨率圖像的整個視場。該單元還提供自動模式識別和缺陷分類功能，從而能夠快速準確地識別常規技術所看不到的微小缺陷。TENCOR 2370提供雙級圖像處理和分析功能,可加快晶圓檢查速度。分析的第一階段利用專有算法將掃描模式與參考模式進行比較，從而實現各種分辨率的快速成像。第二階段的分析采用定制設計的相移算法和模式分類引擎相結合的方法對缺陷進行檢測和分類。這種技術的組合確保了缺陷識別的最高準確性。2370設計用於生產和開發環境。它支撐著廣泛的基板，包括玻璃基板、砷化​​氙（GaAs）和光刻染色體。KLA/TENCOR 2370機設計易於與領先的光刻系統集成，可與計量、檢驗和缺陷審查設備結合使用。該工具提供高級自動化功能以及高級報告和分析。KLA 2370資產提供了廣泛的圖像捕獲和分析功能,可加快周轉時間並降低缺陷覆蓋率。它還可以通過先進的缺陷減少算法進一步減少缺陷。此外,該模型還提供了改進的可擴展性和靈活性,以支持各種生產要求。總體而言，TENCOR 2370是一種先進而強大的設備，具有卓越的圖像質量、快速的晶片檢測和無與倫比的缺陷分類精度，用於掩模和晶片的檢測。該系統專為易於集成而設計,可針對生產和開發環境進行擴展。該設備先進的缺陷減少算法可提高結點精度和缺陷覆蓋率。