二手 KLA / TENCOR 238 #293595764 待售

ID: 293595764
Reticle inspection system.
KLA/TENCOR 238是一種先進的半導體掩模和晶圓檢測設備,設計用於檢查集成電路(IC)等用於制造電子器件的器件。該系統旨在識別和檢查光刻面罩和印刷晶圓圖樣中的缺陷。KLA 238利用一個最先進的模式識別單元來識別特定的標記,提供一個高分辨率的圖像,可用於檢測衍射和其他可用於分析掩模或晶圓模式精度的可見特征。它還具有廣泛的高靈敏度濾波器,以幫助消除來自成像環境的噪聲和幹擾。該機利用先進的光學技術,提供高分辨率輸出的掩模圖樣或晶圓圖樣的可靠圖像。該工具還提供了高速自動對焦機制,可以檢測成像器視野中的微小細節。資產利用各種光源來捕獲數據,包括紫外線、藍色和綠色LED以及激光。這些不同的光源提供了擴展的對比度能力範圍,使模型能夠識別微妙的遮罩或晶圓缺陷。TENCOR 238還集成了多場成像和放大鏡功能,使其能夠一次檢查多達20個不同的視場。該設備還能夠存儲範圍廣泛的分析圖像,允許用戶查看、存儲和存檔圖像以供存檔或將來參考。此外,238還具有確保準確結果的許多功能。其中一個特點是改進了激光聚焦機制,使系統能夠準確識別掩模和晶圓圖樣中的小缺陷。此功能還有助於減少錯誤警報,並降低實現準確結果的成本。該單元還可以靈活調整用於成像過程的光量和光型,允許在各種成像條件下改進結果。最後,該機器設計具有多種安全特性,減少了對操作員和設備造成損壞或傷害的可能性。所有的內部鏡片都是自清潔的,使得它們更容易使用,不太可能造成問題。此外,該工具旨在最大程度地減少意外燒傷或熱點的問題,進一步降低對用戶或設備造成損壞的可能性。總而言之,KLA/TENCOR 238是一種先進的掩模和晶圓檢測資產,旨在提供精確的圖像,提高靈敏度和準確性。該模型非常適合質量保證和生產操作,可快速準確地提供高分辨率的掩模和晶片圖像。設備的先進特性和安全措施使其成為檢測半導體器件高端技術的理想工具。
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