二手 KLA / TENCOR 238 #9091298 待售

KLA/TENCOR 238是為半導體工業設計的高精度掩模和晶圓檢測設備。該系統旨在檢測半導體晶片和掩模在預光刻過程中的缺陷。它能夠在12nm內檢測精度，而它的高速操作允許每小時檢查多達25,000個晶圓。KLA 238結合了幾種創新的檢查技術來提供精確的測量。其內置的導電對準單元有效地檢測晶片邊緣的圖樣缺陷，以便均勻放置模具。具有偽隨機二進制序列（PRBS）算法的圖像處理器可以精確檢測和隔離納米級分辨率內的缺陷。該機還使用了獲得專利的高速突起檢測（HPD）設置來識別表面水平的缺陷，如劃痕、凹坑和小顆粒汙染物。TENCOR 238可以檢測2到12µm之間的粒子汙染物，並配備了數據傳輸和通信模塊，用於與現有工廠自動化網絡的直接數據集成。此工具還具有獨特的通過/失敗標記算法,可幫助減少誤報檢測。資產的緊湊設計使得在任何半導體生產環境中的部署都很容易。它的高動態平面能夠達到± 6 σ的最大錯位,從而允許重復、有序的設備配置文件檢查。該模型增強的成像功能確保了對每個晶片表面的完全覆蓋,並捕獲和檢查了每個視場的全部50%。238還包括一個方便的基於PC的數據管理界面,為用戶提供實時缺陷數據分析。總體而言，KLA/TENCOR 238是一種可靠、精確的檢測設備，結合了幾種創新技術。其獨特的檢測能力和數據集成技術簡化了半導體生產，允許精確而全面的檢測。