二手 KLA / TENCOR 238 #9395887 待售

KLA/TENCOR 238掩模和晶圓檢測設備是專門為半導體行業設計的自動化檢測系統。該單元提供對關鍵晶圓級特征的對齊標記定位、標記測量和其他模式叠加要求的快速、準確的檢查。它能夠檢查邊緣和圖樣邊緣模具的特征,包括0.18微米器件。機器的自動化檢驗工具提供了高吞吐量和高精度，並結合了對晶圓級特性的一系列檢驗能力。它兼具卓越的靈活性和易於編程的特點,能夠快速檢查模具和容器特征的對齊以及其它關鍵的對齊標記定位。KLA 238由具有亮場和暗場照明的雙源光學資產組成,可自動檢查矽模具和容器特征的正負模式。該模型具有8.5 Hz圖像頻率快、精度為1微米的多軸級，適用於高精度應用。設備能夠檢測特定目標特征的圖像；例如,測量對齊標記的位置和大小。它可以比較各級之間的叠加，甚至可以測量亞微米結構等小特征。TENCOR 238系統與高級軟件集成，使其能夠輕松與其他制造系統接口。它具有靈活、直觀的用戶界面,並且可以輕松快速地進行編程以檢查各種功能。該單位還設有一系列質量控制和缺陷管理程序。它具有手動和自動缺陷分析功能,使其能夠檢測到甚至難以發現的缺陷。機器可以在晶圓級識別形狀不規則的缺陷、未對準或缺失的特征以及其他潛在的缺陷。總體而言,238蒙版和晶圓檢測工具是在制造過程中發現缺陷的強大而可靠的工具。它提供對晶片級特性的快速和準確的檢查，並通過其復雜的缺陷檢測和質量控制過程幫助確保產品質量。