二手 KLA / TENCOR 239E #9041907 待售

KLA / TENCOR 239E
ID: 9041907
Mask inspection system.
KLA/TENCOR 239E掩模和晶片檢驗設備是一種行業領先的工具,用於檢查用於制造印刷電路板和半導體器件的掩模和晶片元件的關鍵光學和電氣性能。KLA 239E采用先進的激光和機器視覺觸覺檢查技術以及創新的專有計量系統來檢測和表征低於亞微米尺寸的缺陷,包括針腳/護墊短褲、殘留物、橋梁、斷裂、錯位等。TENCOR 239E專為易於使用和性能而設計,是一種多傳感器系統,具有同步電源、閃電和光學檢測功能。它具有使用TetraTile技術的自動對齊功能、高分辨率成像功能和獨特的雙重視覺功能,可以從兩個不同角度進行檢查。同時使用OmniView和激光位置,用戶即使在最具挑戰性的掩模目標中也能檢測到缺陷。該單元還具有簡化的用戶界面,具有直觀的晶圓圖顯示和增強的可編程芯片模板。239E獨特的tribrid光學設計包含三個組件-激光、CCD相機和掩模-用於捕獲晶圓組件的精密圖像並檢測最微小的缺陷。它可以捕獲每100 um 65個綠松石像素的微米級分辨率圖像。KLA/TENCOR 239E基於LED的電源機制確保精確的像素測量到1.0um,從而提高了吞吐量和可靠性。在計量方面,KLA 239E與Suss NanoAnalysis軟件集成,允許用戶控制關鍵尺寸、特征高度和大小、晶圓輪廓、中心線和邊緣配準。這種功能強大的軟件工具使用戶能夠確定復雜組件的3-D形狀,並使用測量結果創建報告和分析數據。總體而言,TENCOR 239E掩模和晶片檢測機提供快速、高效、可靠的缺陷檢測和測量能力,以提高質量和產量。它是任何尋求精密和準確檢查工具的組織的理想解決方案。
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