二手 KLA / TENCOR 2401 Viper #9176353 待售

KLA/TENCOR 2401 Viper是一種先進的掩模和晶片檢測系統，用於檢測與掩模和晶片生產有關的亞微米粒子、缺陷和其他質量問題。它使用石英鹵素光源進行操作，照亮掩模和晶圓樣品，並使用遠心光學系統捕獲高分辨率圖像。KLA 2401 Viper包含嵌入式SENTry技術，使用專有算法以高度的準確性和可靠性定位粒子和缺陷。該系統配備了強大的軟件工具，使用戶能夠輕松地在不同的光學配置之間切換，從而使他們能夠在一次檢查中分析不同位置的不同表面和微觀結構特征。其他功能,例如獨立控制光路的能力和縮放設置,可以增強對比度並詳細監控樣品的特定區域。除了粒子和缺陷分析外，TENCOR 2401 Viper還能夠測量掩模和晶圓樣品的各種特征。低光自動對焦特性產生高對比度圖像，使用戶能夠以亞微米精度對臨界樣品尺寸進行精確測量。此特征還有助於減少由於對象位移或樣本曲面不一致而導致誤報的可能性。2401 Viper為掩模和晶片生產提供了可重復性、可靠性和增強的吞吐量。它直觀易用的圖形界面,加上強大的軟件和硬件功能,使其成為各種生產設施的重要檢查解決方案。