二手 KLA / TENCOR 2401 Viper #9186868 待售

KLA/TENCOR 2401 Viper是一種自動化的掩模和晶圓檢測工具，旨在提供全面的缺陷檢測能力。它用於半導體制造過程中，用於檢查掩模、晶圓和模具表面是否存在缺陷或汙染物。KLA 2401 Viper利用先進的模式識別算法和光學對圖像缺陷進行檢測和分類。它配有高分辨率彩色CCD相機、偏振模塊和白光LED照明器，用於捕捉和分析被檢查的掩模或晶片的圖像。TENCOR 2401 Viper還包括一個自動級，用於將掩模或晶片移入和移出檢測區。2401 Viper提供極低噪音性能的高速生產級檢查。它能夠以高達每小時60個晶圓的速度運行，可以檢測到小至1微米的缺陷。KLA/TENCOR 2401 Viper還可以檢查大面積、高長寬比，從而提高晶圓與掩模的兼容性。KLA 2401 Viper的用戶友好界面包括全功能文本、圖形和聲音警報，以指示剛剛檢測到的異常。它還包含一個板載的濾波器和掃描參數庫，以優化系統的性能。該庫可以配置為容納晶圓邊緣或網格上的不同采樣點,從而使用戶能夠最大限度地提高產量和吞吐量。TENCOR 2401 Viper還采用了多合一檢測技術，可以檢測各種缺陷類型，從異物顆粒到空隙或凹坑。該系統結合了自動化檢查和人工檢查，允許精確的缺陷選擇和分類。該系統可以進一步用背景匹配算法進行預編程，過濾出低強度或低概率異常。2401 Viper是一種有效可靠的掩模和晶片檢查工具，旨在檢測小異常，降低操作成本，優化產量。通過其高速和先進的缺陷分類能力，KLA/TENCOR 2401 Viper提供了更高的吞吐量，同時為用戶提供了檢測過程中的精確智能。