二手 KLA / TENCOR 2401 Viper #9195297 待售

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ID: 9195297
晶圓大小: 4"-8"
優質的: 2000
Wafer inspection system, 4"-8" Cassette to cassette system Compatible wafer carriers: 4, 5, 6, 8 (2) Cassette ports Unit set up: 8" Optical measurement unit Operating system: Windows NT Throughput: 85 W / H Wafer mapping Double discharge lamp: Wafer illumination Particles and scratches macro inspection: > 50 microns Instant pictures: 1 KB x 1 KB with 2 linear CCDs Stage moving: Y Axis 2000 vintage.
KLA/TENCOR 2401 Viper是一種自動掩模和晶片檢測設備,設計用於檢測高精度和可靠性的模式缺陷。該系統由兩個掃描激光器組成,用於分析掩模表面和晶圓樣品的任何不規則性。此過程稱為缺陷審查。該單元使用一種獨特的兩臺激光機器,稱為「感知」,以準確識別缺陷。該工具利用兩個獨立的掃描激光器同時收集不同角度的缺陷審查信息。這有助於減少檢查樣本所需的時間,並提高結果的準確性。此外,該資產還包括可以用傳統方法檢測難以檢測的異常的高級算法。KLA 2401 Viper的成像功能使用戶能夠快速查看示例圖像,這些圖像顯示在集成用戶界面上。對於檢查過程的各個階段(包括缺陷修復、缺陷隔離、通過/失敗和對齊等)的各種設置,可以選擇圖像分辨率。模型還使用高精度的光學級,以3軸方向精確移動晶圓或掩模樣品。這樣可以更好地控制整個過程。集成校準軟件使用戶能夠在整個設備上保持一致的掃描參數。此外,系統還配備了條形碼讀取器,使檢查數據能夠快速準確地記錄下來。最後,TENCOR 2401 Viper的軟件包提供了一套全面的功能,以確保檢查晶片和掩碼時的最高可靠性和準確性。這些功能包括圖像查看工具、缺陷識別和位置工具、自動用戶指南、全面的數據和缺陷報告,以及用於輕松備份和存儲數據的工具。所有這些特性使2401 Viper成為各種掩模和晶圓檢查任務的理想選擇。
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