二手 KLA / TENCOR 2401 #293774190 待售

KLA/TENCOR 2401是一種精密、高性能的掩模和晶圓檢測設備。該系統采用模塊化設計,能夠對多個掩碼和晶片或具有自動晶片處理功能的單個掩碼或晶片進行大容量檢查。它提供6.5 um的最大分辨率、超快的檢查速度和內置冗余,使其識別和區分缺陷的速度比傳統系統快得多。KLA 2401利用先進的數字晶片成像，以無與倫比的精度和速度識別和定位缺陷。該單元配備了亮場、暗場、偏振成像，加上先進的成像和處理算法，以優異的可靠性和準確度提供精細細節的增強檢測視圖。TENCOR 2401作為其掩模檢查功能的一部分,提供UV LED照明,使用戶能夠檢測敏感圖案化掩模層上的缺陷。該機器還能夠通過使用它的專有特征查找器算法檢測廣泛的缺陷，包括顛簸、微粒和線寬問題，該算法檢查掩模或晶圓的一個層或子層中的模式變化。這允許用戶識別在正常目視檢查中未發現的小缺陷。2401的智能光學和對焦工具顯著提升了這一掩模和晶圓檢測資產的性能。模型的自動對焦特性利用其精密的算法，快速準確地調整對焦，以連續檢查圖樣層，降低手動調整，節省時間。KLA/TENCOR 2401還具有高級審查和分析軟件,為最精確的缺陷檢測和特征分析提供了高速對象分析。該軟件提供了全面的圖形用戶界面，使用戶能夠用自動化的例行腳本、強大的排序功能和強大的統計數據快速而精確地分析數據。此外,該軟件還具有開放的體系結構,允許用戶自定義例程和數據分析。憑借其先進的能力和高性能，KLA 2401為掩模和晶圓檢測提供了前所未有的精度、可靠性和速度水平。該設備的數字成像、智能光學以及強大的分析和審查軟件有助於確保準確檢測缺陷,並實現快速高效的掩模和晶片生產。因此，TENCOR 2401是來自全球半導體制造商的質量控制部門和生產線的理想選擇。