二手 KLA / TENCOR 2410 Viper #293592063 待售

KLA/TENCOR 2410 Viper是一款面罩和晶圓檢測設備，旨在最大限度地提高生產精度和質量。它是一個自動化的串聯晶片檢查系統，旨在實現對器件層的經濟高效的檢查，提供高分辨率成像和缺陷分析。KLA 2410 Viper可以確定是否存在關鍵缺陷,從而能夠快速拒絕超出規格的部件。該單元提供卓越的圖像采集分辨率和高速圖像捕獲、自動圖像捕獲和處理以及可重復的結果。TENCOR 2410 Viper搭載了最先進的光學機器，由兩個紫外線物鏡、四個遠心鏡頭、一個CCD相機和三條激光線組成。通過掃描電子束技術，2410允許精確到納米成像能力，分辨率降至0.5微米。該工具有三條激光線用於圖像捕獲（光學字符識別、缺陷檢測和輪廓掃描）。OCR線允許通過背光圖像識別和評估叠加,而其0.5 µm成像允許讀取小至6 µm的特征。缺陷檢測線（Defect Detection line）是一種高分辨率的線，用於識別小至2 µm的缺陷並確定其大小。輪廓掃描線有助於叠加精度測量,用於提供任何模具缺陷的2D視圖。2410 Viper還擁有在一個工具中自動添加和引用100多個視場的功能,而無需手動校準。它還能夠自動進行缺陷分類、圖像聚類和幀對幀比較，從而能夠識別連續圖像中的相同缺陷。KLA/TENCOR 2410 Viper可以提供快速、可重復的結果,即使在一大組晶片上也是如此,以幫助確保快速的吞吐量和最短的停機時間。此外，KLA專利晶圓檢測算法提高了精度，解決了風險，降低了器件產量損失。通過結合精確和可重復的結果，KLA 2410 Viper是檢查現代高密度半導體芯片的理想資產。