二手 KLA / TENCOR 2410 Viper #293609537 待售

ID: 293609537
Macro defect inspection system.
KLA/TENCOR 2410 Viper是一款先進、高精度的掩模和晶圓檢測設備,旨在滿足半導體制造的挑戰性要求。該系統是一個集成的解決方案,可提供卓越的缺陷檢測功能、準確的重復性和可靠性,以及高吞吐量,從而實現經濟高效的吞吐量。KLA 2410 Viper利用先進的電子和光學設備,對掩模或晶圓的所有層以及設備外圍的多個區域提供高分辨率成像。它具有一系列自動化和手動模式,可以快速準確地識別缺陷。該設備構建在一個opto-mechanical平臺上,其設計增強功能可提高可靠性、分辨率和吞吐量。2410包括先進的光學顯微鏡級和高功率動態成像機。光學器件的設計目的是獲取高分辨率圖像,並經過優化,以確保準確、可重復的結果。2410的高級圖像處理功能允許快速檢測和分類一系列缺陷,包括線緣粗糙度、接觸打印缺陷、橋接和穿刺缺陷、多邊形邊緣位移和劃痕。它還提供傳感器來測量小寬度和多邊形邊緣位移。TENCOR 2410 Viper利用多種檢查技術,確保完整的覆蓋範圍和準確性。其中包括計數模式,其中工具確保圖像質量校正被應用;比較模式,允許比較視野的兩個區域;和設置模式,這有助於確保準確的位置對齊。2410 Viper設計為人性化。直觀的圖形用戶界面可輕松導航並增強用戶體驗,同時易於編程的作業設置和完整的報告功能可實現高效操作。集成的溫度控制光源也有助於提高圖像清晰度。總體而言,KLA/TENCOR 2410 Viper設計用於高效、經濟高效的高精度掩模和晶片檢查。它的自動化和手動模式能夠快速識別缺陷,而其先進的圖像處理功能則能夠準確檢測邊緣和全面覆蓋。用戶友好的圖形界面和集成的溫度控制光源確保了準確性和易用性。
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