二手 KLA / TENCOR 2410 Viper #9152918 待售

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KLA / TENCOR 2410 Viper
已售出
ID: 9152918
Macro defect inspection system.
KLA/TENCOR 2410 Viper是一種自動光學檢查(AOI)設備,能夠快速準確地檢測和測量晶圓和光掩模表面上非常小的缺陷。它設計用於檢查最大側長200毫米的晶片和掩模。KLA 2410 Viper是一款先進的視覺檢查系統(VIS),有兩個主要組件。第一個是光學成像裝置,它使用遠心光學機器從200 mm的廣角視野中捕獲亮場和暗場圖像。第二個組件是高性能處理器平臺(HPPP),用於處理眾多圖像並檢測晶圓和掩碼上可能存在的細微缺陷。TENCOR 2410 Viper能夠使用其自動缺陷識別(ADR)工具檢測30 nm以下的特征。ADR資產利用算法,可以快速準確地識別缺陷.它還可以測量低至10nm的特征,並提供缺陷直徑和線性距離的測量。2410 Viper在執行各種檢查任務時利用軟件控制和調整視覺模型並解決復雜問題。它用戶友好,包括實時操作員設備等功能。該系統易於使用,有助於提高檢查過程的運行性能和生產率。KLA/TENCOR 2410 Viper靈敏度高,檢測能力廣泛。由於它的高速處理,它很容易超越其他類似的可用系統。它還包括各種外部接口,使其易於與其他設備(如計量工具)兼容。總體而言,KLA 2410 Viper是一款可靠、功能強大的AOI單元,具有出色的光學性能、魯棒的模式匹配算法和多用途的接口機。它是一種工具,可用於確保各種檢查任務的準確和可靠的結果。
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