二手 KLA / TENCOR 2410 Viper #9206451 待售
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KLA/TENCOR 2410 Viper是一種高性能的自動掩模和晶圓檢測系統。Viper專為半導體生產行業的光刻師和包裝工程師設計,提供全面的物理缺陷檢測和串聯過程控制,用於晶圓級和標線級掩模檢查。毒蛇利用創新的「DualVision」光學成像架構,提供0.5微米分辨率、高靈敏度檢查和CD和圖樣化檢查圖像的0.2微米覆蓋精度。直觀且易於使用的用戶界面可實現數據捕獲、分析和報告。毒蛇還包括一個專利的「激光成像系統」(LIS),用於檢測設計和制造階段的故障,提供比其他領先的掩模檢查系統更廣泛的覆蓋範圍。Viper能夠集成缺陷檢查和過程控制,並具有內置的攝像頭級過程控制和高級缺陷分類功能。此外,它還支持工廠內生產,周期時間低至5分鐘,並支持高吞吐量的自動化數據分析。其先進的自動化功能和內置的過程控制算法使用戶能夠放心地快速檢測、可視化和測量過程變化。Viper還具有許多高級功能,包括「Patterned Edge and Corner Trigger」 (Patterned Edge and Corner觸發器)和「Multi Exposure Stitch」(多曝光針線)功能,以便在縫合和重新對齊過程中對齊多個曝光區域,以及「Open Beam Inspection」(開口光束檢查)技術,用於檢查任何尺寸的物體而不進行deswing。KLA 2410 Viper是高性能掩模和晶圓檢測的理想解決方案。使用速度快、準確、直觀,提供全面的缺陷檢測和過程控制。它具有先進的特點和簡單的設置,是石版畫家和包裝工程師的理想系統。
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