二手 KLA / TENCOR 2430 Viper #9177838 待售

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KLA / TENCOR 2430 Viper
已售出
ID: 9177838
晶圓大小: 12"
ADI's, 12".
KLA/TENCOR 2430 Viper是一款最先進的掩模和晶圓檢測設備,同時使用可見成像和高級激光顯微鏡,為全系列高級工藝節點提供完整的缺陷可見性。KLA 2430 Viper采用獨特的專利技術,可精確檢查和測量模具尺寸、開口和短褲、薄膜厚度、1nm至30 µm的顆粒以及地形簡單復雜的高速形狀。TENCOR 2430 Viper的設計滿足了300 mm基板的精度要求,使其能夠滿足高產、面向生產的節點的嚴格性能要求。它兼具光學波前和色差,適用於一系列不同的材料和基板。2430 Viper還設計了雙聚焦激光/顯微鏡系統,在檢測缺陷和顆粒時提供極致性能。與單焦點系統相比,雙焦點功能具有顯著優勢,使毒蛇能夠檢查和檢測通常無法使用單焦點單元的缺陷。KLA/TENCOR 2430 Viper還配備了高度精密的軟件,使其能夠在高級流程節點中調整度量和檢測模式。該機器還能夠自動進行缺陷分析、徑向測量、報告、分類和歸檔,從而獲得最大的收益。KLA 2430 Viper還具有精密的檢查和計量技術,如先進的照明,可以精確檢查透明表面和暗場掃描。該工具還包括高級圖像采集和分析,以突出掩碼邊緣特征並促進缺陷隔離。TENCOR 2430 Viper是先進的掩模和晶圓檢測的尖端工具。它的一系列特性和功能提供了穩定性、準確性和高級性能,可幫助提高產量結果、減少成本高昂的缺陷返工並最終節省時間和金錢。
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