二手 KLA / TENCOR 2552 #293591921 待售

KLA/TENCOR 2552是一種先進的掩模和晶圓檢測設備，設計用於檢測集成電路制造中最小的缺陷。它有一個創新的視覺系統，將兩種工具整合到一個單元中：散射測量和視線成像。散射法使用光來測量遮罩中的材料並識別潛在的缺陷，而視線成像則有助於快速識別較大的缺陷，如蝕刻或殘留物。KLA 2552具有高速度、高分辨率、高精度，是一款行業領先的口罩和晶圓檢測工具。TENCOR 2552是一種內聯機器，在制造過程中檢查每個掩模和晶圓。它具有兩臺數碼相機和兩臺光束提取器，可捕獲和分析遮罩或晶片上圖樣的圖像。該工具的創新視覺資產能夠以非常高的精度檢測物理缺陷和光掩模缺陷。模型中使用的高分辨率相機允許精確的缺陷定位和測量。2552設計用於使用單個設備檢查光掩碼和晶圓缺陷。它能夠高精度地分析模具級和晶片級的缺陷。該系統可以檢測小至0.3um大小的缺陷，並能識別汙染並防止其擴散。此外,該設備還可以提醒用戶光掩碼圖像中存在異常或像差。KLA/TENCOR 2552配備智能缺陷檢測，消除了手動檢測，使缺陷檢測速度快得多。它還配備了圖像特征提取技術，允許檢測面罩中的層級缺陷和像差。憑借智能缺陷檢測算法和高速檢測能力，KLA 2552能夠發現最微妙的缺陷，同時最大限度地提高吞吐量。TENCOR 2552是一種先進的掩模和晶圓檢測機，旨在提供高通量和高精度。其創新的視覺工具和高分辨率相機可以快速準確地識別蒙版和晶圓制造中最小的缺陷。其智能缺陷檢測算法和圖像特征提取技術使其成為任何半導體制造廠的寶貴工具。