二手 KLA / TENCOR 2552 #293800563 待售

KLA/TENCOR 2552 Mask&Wafer Inspection Equipment是一種高性能光學檢測解決方案，旨在檢測半導體masks、晶片和光掩模中的缺陷。KLA 2552具有高對比度成像功能,可快速、自動化地減少錯誤缺陷警報,提高檢測精度和吞吐量。該系統先進的光學技術包括超細線寬和平面的檢測和成像、高度靈敏的實時對比度調整、特征和缺陷的自動識別以及小特征的廣域分析。所有這些功能都集成到具有快速檢查過程的獨特模塊化平臺中。TENCOR 2552的核心是其先進的對比度成像技術，它使設備能夠準確檢測和分類各種掩模和晶圓基板中的特征和缺陷。利用其單源照明機，該工具能夠檢測到極小的0.1 μ m線條和空間，小於人眼所能看到的。強大的對比度檢測器準確地測量和分類每一個特征或缺陷的對比度，使資產能夠識別和標記那些不符合預定標準。該模型還利用其獲得專利的線路空間測量功能，精確測量線路對之間的關鍵空間，並自定義對比度設置，以實現一致和準確的缺陷識別。這提供了一個高質量的過程，有助於消除誤報。此外,2552還提供了廣泛的成像模式,包括亮場、暗場、顏色和極化,允許用戶自定義其成像需求以滿足不同的基板和工藝需求。總體而言,KLA/TENCOR 2552掩模和晶圓檢查設備提供了光學檢查中最高的精度和最廣泛的成像能力。該系統先進的光學技術和自動化的檢測過程允許對掩模和晶片基板進行快速、精確和可靠的檢查。