二手 KLA / TENCOR 2552 #9083783 待售

KLA/TENCOR 2552是為半導體生產而設計的最先進的掩模和晶圓檢測設備。它在高級成像和自動化、高度敏感的半導體材料、尺寸和復雜性方面提供領先性能。KLA 2552系統還提供了自動化缺陷分類、數據收集、趨勢分析和報告的綜合軟件包，使其成為提高流程質量和吞吐量的重要工具。TENCOR 2552單元先進的光學機器允許對掩模和晶圓表面進行快速成像，具有平滑的圖像傳輸和並行處理，以獲得更高的速度和線路速率。這種激光掃描的光學架構還具有一種短點大小的激光器，可最大限度地減少運動偽影，提供更高的分辨率、圖像柔韌性以及用於測試和檢查極小缺陷的照明角度。2552工具包含了一系列多樣的技術，包括先進的缺陷成像算法，用於識別小缺陷和不區分微粒。它還支持多種照明技術，如偏振、輪廓、邊緣檢測，以及在不同角度和照明水平進行高分辨率成像的模式識別。資產還提供了一個靈活的數據采集模型，用於從晶圓或掩碼表面的各個點收集缺陷信息。最後，設備配備了強大的軟件套件，用於管理和分析收集到的數據，提供趨勢分析、缺陷跟蹤和統計過程控制，以確保高產量和過程優化。總體而言,KLA/TENCOR 2552是一種先進的掩碼和晶圓檢測系統,結合先進的軟件工具,提供卓越的性能。該單元提供高分辨率和可重復成像、準確的缺陷識別、數據收集和過程控制,使其成為生產和研究的重要工具。