二手 KLA / TENCOR 259HR #293635801 待售

KLA/TENCOR 259HR是一種功能強大、高效的掩模和晶圓檢測設備,旨在為高級工藝節點的生產提供完整的解決方案。KLA 259HR是KLA系列自動化、數字分發掩碼和晶圓檢測系統的最新成員。TENCOR 259HR提供了一個高精度的光學成像系統，能夠檢查各種晶圓、掩模和其他微電子元件的缺陷、非均勻性和形態學。該單元針對8+至16+納米的工藝節點進行了優化，具有110 mm的視場（FOV）。它擁有非常高分辨率的亞微米成像機和標清視頻檢測工具。259HR可以檢測到0.5到10 μ m的異常。成像資產配備了多種模式類型的算法，能夠檢測和映射缺陷和粒子。該模型還提供了復雜的邊緣和地形成像功能。KLA/TENCOR 259HR包含了廣泛的圖像處理算法庫，使其能夠執行模式識別和識別廣泛的缺陷，包括劃痕、點蝕和塵埃顆粒。該設備還能夠表征復雜的模式，如音高、音高變化和邊緣完整性，使其成為識別平版印刷誤差以及跟蹤掩模不對準和其他與工藝有關的效果的有力工具。該系統還包括一系列高級功能，如實時全局監控、動態成像和遠程診斷。KLA 259HR每個晶片可存儲200多個圖像,從而最大限度地減少缺陷檢查、分析和審查的時間和工作量。它還與幾種行業標準數據格式兼容,以確保快速、高效和可靠地集成到現有的掩模和晶圓生產線中。總體而言，TENCOR 259HR是一個高度先進的掩模和晶圓檢測單元，旨在為生產高級工藝節點提供完整的解決方案。其精密的成像機器和數組處理算法使其成為自動監控和缺陷檢測的理想選擇。259HR能夠檢測和表征各種缺陷,每個晶片可存儲200多個圖像,使其成為光刻工藝控制和質量保證的有力工具。