二手 KLA / TENCOR 2606 #199591 待售

ID: 199591
優質的: 1992
Defect Review Station, parts system, 1992 vintage.
KLA/TENCOR 2606是一種前沿掩模和晶片檢測設備,設計用於檢測半導體晶片和掩模中的缺陷。它包括可互換的網框適配器和光源,它提供了一個無與倫比的精度和分辨率水平。KLA 2606利用遠程中心光學和專有算法的組合,以極低的誤報率檢測和定位故障區域。TENCOR 2606的遠心光學以其在整個標本上投射均勻光紋的能力而著稱。這消除了與光源交替距離造成的像差,允許精確聚焦的檢查。同時,系統的z軸驅動器通過控制運動移動樣品,確保精確掃描,而雙級濾波器可以快速消除任何不必要的背景噪聲。準確的測量數據對於確保集成電路的最佳性能至關重要。2606考慮到掩模地形、模式和失真的影響,以便確定最精確的參數。例如,它能夠測量邊緣位置到微米的一小部分,從而確保制造產品的最高質量。KLA/TENCOR 2606可以快速掃描大面積的晶圓掩模基板,同時提供經濟高效的解決方案。該單元配備了200百萬像素的Area Array Camera,一種全速運行而不中斷的圖像捕捉機制。它利用四個12位ADC,將復雜圖像簡化為精確的數字信息,使其成為制造超大規模集成電路(ULSIC)的機器設計者的理想選擇。KLA 2606是高速生產線檢測的完美伴侶。該工具易於使用,提供了多種編程選項,允許用戶為一系列應用程序自定義檢查過程。資產的自動化功能支持快速設置和調整,而順序分析則可以節省時間。所有這些特性使得TENCOR 2606成為現代半導體技術發展不可或缺的工具。
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