二手 KLA / TENCOR 2800 #9117287 待售

KLA/TENCOR 2800是為微芯片行業設計的掩模和晶圓檢測設備。它結合了先進的光學和自動處理技術來檢測半導體晶片和微芯片生產中使用的掩模上集成電路的缺陷。該系統能夠無損分析晶片和封裝級的微芯片缺陷，使其成為生產高可靠性芯片組的重要工具。KLA 2800的光學單元由四個對齊模塊組成，其中兩個充當圖像捕獲單元，兩個充當對齊單元。所有四個模塊都與光學機械對準機配合工作，以獲得準確的測量結果。光學系統可以檢測尺寸範圍廣泛的缺陷，從納米到毫米，並且能夠光學進行晶圓模具的二維成像。該工具還包括一個由幾個組件組成的綜合傳感器包，包括激光多普勒振動傳感資產、自動光譜反射儀和自動缺陷檢測模型。激光多普勒振動傳感設備產生晶片和模具的高保真圖像，用於高分辨率缺陷檢測。自動光譜反射儀檢查晶圓表面的反射率變化，可以指示存在缺陷。自動缺陷檢測系統旨在檢測芯片模具上的缺陷,包括線路脫落和錯誤對齊。TENCOR 2800配備了幾個數據管理和軟件組件，允許用戶自定義和訪問設備的數據。軟件組件允許用戶分析缺陷數據、對缺陷進行分類、設置采樣率、訪問歷史重新配置信息以及生成缺陷報告。該機器還具有自動化數據存儲工具,具有多個存儲位置和可訪問的數據入口點。此外，2800是一項環保資產，為減少環境影響和能源使用提供了若幹措施。該模型符合歐洲RoHS指令，能夠在ISO 14001環境管理設備下運行。該系統還提供了若幹節能措施，例如使用低功率LED和減少通風，以及減少噪音汙染的措施。總體而言，KLA/TENCOR 2800是一個先進的掩模和晶圓檢測單元，對芯片缺陷提供準確可靠的分析。它結合了先進的光學和自動化處理、全面的傳感器包和強大的軟件功能，使其成為生產高可靠性微芯片的寶貴工具。