二手 KLA / TENCOR 2800 #9192128 待售
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KLA/TENCOR 2800是一種用於缺陷檢測和粒子成像的精密掩模和晶圓檢測設備。它是一個自動化系統,結合了先進的光學、照明、成像和軟件技術,以提供嚴格的結果。KLA 2800提供二維或三維圖像,精確測量粒子直徑、計數、大小和形狀到納米範圍。單位將檢查區劃分為多個子區,並對每個子區進行缺陷檢查。它配備了缺陷識別和分類圖像處理算法、帶背光的高分辨率相機、用於檢測大小缺陷的傾斜照明機、精確的樣品處理和精確的自適應非均勻性校正。TENCOR 2800具有很高的分辨率成像能力,能夠捕捉地形和缺陷的幾何形狀。由於其高度靈敏的光學工具和自動化的芯片樣品處理系統,它還可以同時檢測晶圓兩側的粒子。它測量和剖面粒徑和形狀,並編譯形狀參數作進一步分析。此外,它還配備了一種快速缺陷定量算法,能夠在可見光束的一小部分波長內精確測量缺陷尺寸。處理後的圖像使用顏色編碼的叠加來顯示缺陷的確切位置和嚴重程度。2800被證明是一個非常直觀的資產,易於幫派圖形。它旨在提供快速、準確的數據,同時保持穩定的平臺。它具有全模型自動化功能,與在線過程控制系統集成,以最大限度地提高過程性能。KLA/TENCOR 2800允許快速獲取和分析缺陷數據,從而提高效率和產量。它的高分辨率成像提供了識別小缺陷和粒子偽影大小的詳細功能。它的準確性和可重復性確保了對提高產量和降低成本的決策進行可靠的測量。
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