二手 KLA / TENCOR 2810 #9169784 待售

KLA/TENCOR 2810是一種掩模和晶片檢測設備,設計用於對具有缺陷關鍵特征的光掩模和晶片進行精確、自動的檢測。該系統結合了出色的成像性能、先進的計量學功能和用戶友好的軟件,為滿足半導體檢查和評審的苛刻要求提供了量身定制的解決方案。KLA 2810采用了最新的硬件和軟件技術來提供可靠和可重復的數據,同時提供精確的定位和頻閃對齊功能,以確保無缺陷的啟動和精確的操作。該單元易於設置和操作，其自動化的測量系統、光學模式識別以及先進的缺陷審查能力，使得即使是最精密的晶圓設計也能快速準確地驗證。TENCOR 2810的5軸配置允許訪問所有主要組件,從而為掩碼提供精確且可重復的註冊。這臺機器包括雙級雙目立體聲觀察，能夠在復雜的結構和特征上進行精確和可重復的成像，這些結構和特征在傳統顯微鏡下很難或不可能看到。2810采用了最新的照明技術，包括暗場、斜角和KLA專利LED照明工具，減少了光斑，增強了缺陷能見度。利用其板載步進模式識別算法，可以快速檢測大面積區域並識別參數缺陷的位置。此外,KLA/TENCOR 2810能夠檢查掩模的感光層,從而減少錯誤檢測。KLA 2810還包括一套全面的軟件工具，包括TENCOR缺陷數據管理軟件，允許對來自多個來源的數據進行分析和審查。該資產還具有強大的用戶界面,可用於協作和缺陷審查。憑借其創新的設計、先進的成像能力、通用的軟件工具以及用戶友好的操作，TENCOR 2810掩模和晶圓檢測模型是半導體缺陷審查和分析的寶貴工具。