二手 KLA / TENCOR 2810 #9227348 待售

KLA/TENCOR 2810是一種最先進的掩模和晶片檢測設備，可以檢測晶片和掩模中的缺陷，精確測量晶片上的尺寸、形狀和特征放置。KLA 2810旨在滿足當今半導體器件制造的高精度要求。TENCOR 2810系統利用10X顯微鏡精確測量和識別半導體特征尺寸低至1/4微米的缺陷。該單元中高度先進的算法使其能夠以極高的精度發現和區分完美成型特征中的缺陷。機器可以同時掃描和測量多達3個芯片，從而實現極快的吞吐量速率。2810能夠通過側壁和形狀導數檢測電氣和物理缺陷,包括顆粒、空隙、閘門和接觸短褲、位錯、空隙、線寬和線緣粗糙度。該工具還能夠同時進行暗場和亮場成像，以及散射成像，使其能夠檢測低於光學分辨率極限的缺陷。除了KLA/TENCOR 2810先進的光學檢測能力外，該資產還能夠執行包括叠加、俯仰、寬度、長度和面積在內的廣泛測量。該模型還提供了一個外部自動缺陷審查（ADR）設備的接口，使KLA 2810能夠根據預定的規則和模式快速高效地對缺陷進行分類和分類。TENCOR 2810是一種多功能、高精度的掩模晶片檢測系統，旨在檢測和測量無與倫比的精度和重復性缺陷。該裝置能夠在單一、快速、自動化的過程中檢測和測量各種電氣和物理特性。由於其先進的算法和成像,2810可以檢測到低於1/4微米水平的缺陷,同時通過單擊重復驗證和測量過程來提供可重復性。這使得KLA/TENCOR 2810成為半導體制造過程中的寶貴工具。