二手 KLA / TENCOR 2830 #9260081 待售

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ID: 9260081
優質的: 2010
System Module: EFEM Includes: YASKAWA XU-RCM9206 Robot Pre-aligner: XU-ACP330-B10, ERCM-NS01-B003 Controller 2010 vintage.
KLA/TENCOR 2830是一種功能強大的晶圓測試和計量設備,設計用於測量半導體晶圓的性能。它具有高分辨率紅外成像工具,能夠檢測和測量晶片表面的微觀特征,包括缺陷、摻雜劑濃度、薄膜厚度、晶界、電阻率和其他微觀結構特征。該系統的自動化軟件提供了快速、高效的測試結果分析。它配備了計算機化的晶圓處理單元、精度和速度掃描光學,以及先進的分析算法。機器可以容納直徑達8英寸的晶片。KLA 2830使用成像技術精確測量晶圓表面的地形,產生詳細的圖像進行分析。該工具精確測量晶片的凸點、凹坑或其他微觀特征的高度和圖案。它還記錄了紅外光譜波段地形的光學反射率,提供了適當的數據範圍,以識別可能影響設備性能的任何缺點。資產的自動化軟件使得快速獲取、審查和分析晶圓測試數據成為可能。此軟件允許用戶設置自定義參數,如掃描區域、點大小和采樣率,以獲得所需的詳細程度。該軟件還提供了存儲和管理晶圓測試數據的便捷方法。TENCOR 2830具有在晶片表面上成像和識別微小特征的能力,是在半導體晶片上進行高級生產測試和電氣測量的寶貴工具。它也是晶圓分析和缺陷檢測的經濟高效的解決方案。結果,該模型成為半導體行業的寶貴資源。
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