二手 KLA / TENCOR 2835i EFEM #9230778 待售

KLA/TENCOR 2835i EFEM是一種高性能、自動化的掩模和晶圓檢測設備,可提供高分辨率、高通量和精確的缺陷檢測。該系統提供了比傳統和自動顯微鏡更高的檢查效率和前所未有的產量。其最先進的光學、力學和先進圖像處理算法的結合提供了可靠準確的缺陷識別，同時使晶圓處理吞吐量比傳統方法提高了十倍。KLA 2835i EFEM的主要功能包括：高吞吐量自動檢測、同時掃描20多個晶片的能力、四個可調柱的所需角度,以及高達每小時1200個晶片的高占空比。該單元還能夠為高倍率消費者POV應用程序設置參考圖像,以及能夠達到10 um分辨率的快速3D視點（POV）掃描。2835i還采用了雙攝像機，為微米級粒子和缺陷特性的評價提供了自動化和準確性。它是機載自動電子束缺陷管理（EDM）工具,使工程師能夠快速檢查晶片,並將缺陷特征和數據直接提取到圖像文件中。該資產還集成了KLA專利的背景降噪（BNR）功能，允許更精確的表面和缺陷水平，從而大大提高了晶圓產量。TENCOR 2835i EFEM是一款功能強大、創新的檢測模式，旨在滿足並超過所有客戶要求。該設備的卓越性能得到了易於使用的軟件界面和可擴展的系統配置的稱贊,允許用戶根據自己的特殊需求定制其設備。2835i EFEM具有先進的圖像處理功能、直觀的用戶界面和自動缺陷分析功能,是掩碼和晶圓檢測的理想工具。