二手 KLA / TENCOR 2835i #9384468 待售

ID: 9384468
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
System, 12" EFEM Module YASKAWA Robot 9206 With (2) IsoPorts 2008 vintage.
KLA/TENCOR 2835i是一種用於檢測光掩模和晶片上的小缺陷和非均勻性的掩模和晶片檢測設備。它利用先進成像技術和專門軟件算法的獨特和先進的組合,提供從表面水平異常到汙染和材料故障等各種設備缺陷的詳細信息。該系統包含一個高分辨率的成像頭,在微觀水平上拍攝光掩模或集成電路上的特征圖像。映像頭由Pentium計算機供電,該計算機具有4GB的RAM和高達64 GB的硬盤空間。一個專用的自動化晶片處理單元將晶片精確定位在成像頭的視場中,從而能夠準確定位缺陷並進行檢查。KLA 2835i提供光場和暗場成像,用於完整的缺陷檢測。這包括地形測量和元素光譜來識別化學品和化合物。專門的軟件和算法測量可疑缺陷的大小、形狀和方向,進而協助用戶進行缺陷分類。TENCOR 2835i還可以測量拓撲、紫外線(UV)、光學、電子束等多種參數。利用先進的分水嶺分割算法,結合專用的基於特征的分類機,2835i能夠準確識別、分類和測量各種缺陷。KLA/TENCOR 2835i能夠檢測小於10nm的缺陷,可重復性精度為1nm(影像尺寸的1%)。這種高度精確的工具允許在包括半導體、照明、光學、太陽能、生物技術和微電子系統在內的各種行業中進行可靠的掩模和晶圓檢查。KLA 2835i的綜合缺陷分析簡單高效,因為它具有直觀、用戶友好的界面。它具有內置的手動缺陷審查資產,以確保檢查和記錄所有缺陷。總之,TENCOR 2835i是一種先進的掩模和晶圓檢測模型,它提供了準確、自動化的缺陷檢測和分類以及全面的缺陷分析。這種設備在廣泛的工業應用中是有效的,使其成為生產和測試光掩模和集成電路的寶貴工具。
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