二手 KLA / TENCOR 3000P #293610009 待售
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KLA/TENCOR 3000P掩模和晶片檢測設備是一個自動化的高級成像系統,旨在使晶片和掩模在亞微米級缺陷。該單元非常適合半導體生產過程中的質量保證/質量控制(QA/QC),它可以檢測表面缺陷、線寬和空間、叠加誤差和缺失特征。該機采用高分辨率數碼相機和先進的成像軟件,允許精確的視覺工具放置和布局。KLA 3000P使用的成像軟件為每次檢查提供尺寸參考點,可以從晶圓圖上的任何位置進行測量。這使操作員無需額外的操作員輸入即可輕松檢查缺陷。該資產還配備了一系列可拆卸的探針和傳感器,如X射線、光學和接觸檢查,以進行詳細的電氣測量。它還具有多站點和多平面檢查功能,使其能夠從多個級別獲取可操作的信息,以便更有效地檢查和識別掩碼和晶片上的模式錯誤。TENCOR 3000P設計有各種各樣的性能參數,讓運營商最大限度地發揮其潛力。這些參數包括圖像放大和綁定、光斑曝光和光斑曝光級別。此外,模型的自動化軟件設計靈活,用戶友好.它可以編程為一次執行多個測量,並識別、識別和報告接近微米精度水平的缺陷。此外,3000P設備還具有多種安全功能,例如備份映像存檔,使操作員能夠立即查找和解決檢查過程中可能遺漏的任何缺陷,以及易於導航的用戶友好觸摸屏界面。總體而言,KLA/TENCOR 3000P是一個極其可靠、先進的系統,致力於為任何必要的應用程序提供準確、詳細和全面的掩模和晶片檢查。其強大的設計、全面的特性和可靠的性能使其成為任何半導體生產過程中不可缺少的寶貴組成部分。
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