二手 KLA / TENCOR 3200-1225-03B #9294183 待售

KLA/TENCOR 3200-1225-03B掩模和晶片檢測設備是一種高性能的工具,能夠檢測晶片是否有缺陷,從而能夠快速、準確地調整光刻工藝中模具在掩模或晶片上的位置。該系統設計用於檢查線寬為25 µm至1.2 mm的晶片，並具有+/-0.25 µm精度的測量特征。該單元包括+/-0.05 mm x 0.12 mm的8英寸模具到掩模可重復性，+/-0.04 mm x 0.13 mm的12英寸模具到掩模可重復性，+/-0.02 mm x 0.06 mm的多層模具內可重復性。KLA 3200-1225-03B機配備高速雙探針激光掃描儀，具有步進和重復繪圖算法。這種掃描繪圖工具可以使激光束在掩模或晶圓的整個表面快速移動，準確檢測和處理缺陷。然後,資產使用KLA專有的光學字符識別（OCR）技術來識別和測量掩模或晶片上的特征,以便與參考標準進行比較。此外，TENCOR 3200-1225-03B模型還配備了專門的成像和跟蹤軟件，允許便攜式註冊技術，以確保掩模與晶片精確對準，反之亦然。該技術確保了模式數據的正確放置和精確對齊，解決了偏移模式生成問題。3200-1225-03B設備獨特的斜邊設計進一步提高了其精度，因為它能夠精確跟蹤內部圖案布局。KLA/TENCOR 3200-1225-03B還提供最先進的數據分析和報告工具，收集和編制關於檢查結果的全面報告。這使客戶能夠對生產操作進行實時調整,從而確保最高級別的質量保證。總之，KLA 3200-1225-03B掩模和晶片檢驗系統是一種高度先進的工具，能夠提供廣泛的數據收集和分析能力。它是為精確精確的掩模和晶圓檢測而設計的，為客戶提供高品質產品的保證。