二手 KLA / TENCOR 3Di #9384479 待售

KLA/TENCOR 3Di是一種先進的面罩和晶圓檢測設備,旨在實現高速集成電路制造的卓越缺陷檢測。它采用3 D成像技術,利用高度、顏色、亮場和暗場信息檢測微觀缺陷,並具有晶圓與掩碼對齊功能,可以將模具與已知模式進行比較並檢測差異。KLA 3Di配備了500萬像素探測器，可對關鍵特征進行高分辨率成像，從而在檢測缺陷源時提高靈敏度。它還提供了功能強大的專門算法來快速、準確地檢測數據參數缺陷和非參數化缺陷。該系統配置了高級像素綁定功能,可實現更高的吞吐量,而不會犧牲缺陷敏感性、與自動缺陷檢查標準格式的兼容性,以及存儲已檢查圖像和相關晶圓信息以供分析和存檔的數據積累功能。TENCOR 3Di可以檢測2D和3D的亞微米大小順序上的缺陷,將3D配置文件實時可視化或保存為參考文件供以後分析。它能夠識別缺失、偏移、拉伸、旋轉或以其他方式未對齊的特征和圖層。它還可以從圖像中提取所需的數據,如地形、步高和輪廓線。該單元與目前所有的蒙版光刻系統兼容，其直觀的用戶界面允許操作員自定義檢查參數，查看原始晶片圖像，分析多種缺陷類型。它采用了兼容的舞臺機器，使得它易於設置和快速檢查什麼，否則可能是一個極其復雜的過程。最後，3Di工具配備了智能自動發現算法，能夠檢測高級節點圖像中的細微缺陷，提供更好的產量和提高整體設備質量。這樣可以加快成品設備的上市速度。