二手 KLA / TENCOR 7200 #293828742 待售
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KLA/TENCOR 7200是一種掩模和晶片檢測設備，用於對光掩模或晶片中的層進行精確檢測。它采用先進的光學檢測技術，在厚度在0.3到2.4mm之間的晶片上檢測分辨率為0.1µm的缺陷。這使得它適合用於制造高精度、高性能的半導體器件和MEMS。KLA 7200系統由多個組件組成,包括Red Skin階段、成像單元、模式識別機和缺陷審查工具。Red Skin舞臺可以容納光掩模和晶片，而成像資產（包括光源、光學器件和照相機）可以捕捉樣品圖像，最大分辨率為0.1µm。然後,模式識別模型使用算法檢測邊緣和結構的不規則性,而缺陷查看設備則存儲一個圖像庫,並查看圖像的保形和離散性缺陷。TENCOR 7200系統能夠處理各種樣品。在光掩模的情況下，該單元可以檢測到表面缺陷、線寬不規則和針孔。對於晶片，它可以檢測到模式匹配缺陷、線寬不規則性、粒子缺陷等。7200還具有增強的軟件功能,使其更易於使用和處理數據。這些功能包括自動晶圓映射排序、高級運行/跟蹤分析和無掩碼自動對焦。總體而言，KLA/TENCOR 7200是一種用途廣泛、可靠的掩模和晶片檢測機，可提供高精度的表面和層不規則檢測。它結合了先進的光學檢查技術、全面的軟件功能和有效的缺陷審查過程,使其成為希望以最高精度檢查各種組件的制造商的理想選擇。
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