二手 KLA / TENCOR 9110 #293606940 待售

KLA/TENCOR 9110面膜和晶片檢測設備是一個高端自動檢測平臺，設計用於光刻面膜和晶片的自動檢測。KLA 9110系統包含一個全封閉的集成光學單元、圖像質量分析（IQA）算法，以及一個全自動軟件套件，可以為大型作業提供快速、準確的結果。TENCOR 9110機具有5MP CMOS數字成像平臺，具有可調的光學、比例和聚焦子系統。該工具設計有一個完全封閉的光學腔室，允許大視場和大動態範圍。光學元件結合了透鏡、彩色濾鏡和消色差棱鏡,可實現寬視場、高分辨率成像和圖像分析。KLA算法集成允許基於CAD模式、基板類型、資產設置和其他幾個參數自動過濾缺陷。該算法輔以一組獨特的測量，包括光譜儀、成像和大小、模具標識符標誌、檢查數據采集和分析以及缺陷尺寸測量。該模型還提供了一個交互式、直觀的用戶界面，幫助鑒定缺陷，設置檢查參數，工程圖形，模式識別等等。這個直觀的GUI有一個完全集成的幫助菜單，允許方便的導航和操作。9110 Mask and Wafer Inspection Equipment提供極高的準確性和可重復性。檢測過程的高精度和可視化使系統非常適合許多應用，包括半導體晶片檢測、模模檢測、晶片級缺陷表示以及掩模完整性和模式精度驗證。為了確保人員和設備的安全和保護，該單位包括一套附件部件。這些附件包括真空機、冷卻工具、機械長袍和可確保外界汙染風險最小的自鎖蓋。KLA/TENCOR 9110資產還附帶了打滑重量優化，在處理更大的生產作業時盡量減少振動，提高整體精度。總體而言，KLA 9110掩模和晶片檢驗模型是光刻掩模和晶片自動化檢驗的可靠、高度準確、直觀的檢驗平臺。眾多功能、可靠的算法和直觀的用戶體驗使用戶能夠快速準確地處理檢查作業。