二手 KLA / TENCOR Archer 10 AIM+ #9236397 待售

KLA/TENCOR Archer 10 AIM+是一種先進的用於掩模和晶圓檢測的成像計量和缺陷審查（AIMD）解決方案。這臺設備采用了亮場光、先進光學和快速相機技術的組合，以識別口罩和晶片上的缺陷。系統使用高標記點源（HMPST）來照亮和捕捉準確和可重復的圖像。KLA Archer 10 AIM+根據應用配備了兩個不同的成像模塊：Brightfield和Darkfield。Brightfield模塊使用brightfield照明進行缺陷檢測和光刻優化，包括聚焦和成像光學和全場照明，用於自動缺陷審查。裝置的暗場設計用於在檢測某些缺陷如濕蝕刻加法器、橋接和碎裂時提高靈敏度。機器可以同時處理大口罩和晶片，直徑可達6英寸，最高溫度可達700℃。TENCOR Archer 10 AIM+采用了先進的硬件架構，實現了快速高效的數據傳輸和圖像處理。工具收集的圖像數據存儲在資產本身中，使技術人員可以隨時查看和分析。該模型提供了廣泛的功能和技術,包括自動缺陷審查、高級數據分析和高級模式匹配。它還包括對象裝配和缺陷識別工具，以準確定位和分類缺陷。此外,設備能夠進行缺陷分析,以量化缺陷類型、識別過程敏感性並生成缺陷拓撲報告。為了保證精度和可重復性,Archer 10 AIM+具有光學自動對焦功能,能夠對樣品進行分析以獲得最佳聚焦,然後調整樣品振動和位置,以重新建立最佳聚焦。該系統還具有用於較高溫度環境的高亮度選項,以及用於延長設備壽命的低功耗選項。最後，KLA/TENCOR Archer 10 AIM+配備了用戶友好的圖形用戶界面，便於設置和編程。機器還包括實時錯誤檢測和校正功能，以及後處理算法，以獲得額外的精度。KLA Archer 10 AIM+可以幫助晶圓和掩模制造商實現最大產量，並以經濟高效的方式獲得可靠的質量數據。