二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #293750588 待售

KLA/TENCOR Archer 10 XT是一種高性能的掩模和晶片檢測設備,提供卓越的成像能力,以實現高級晶片缺陷檢測和過程監控。KLA ARCHER10XT能夠精確檢測到10nm以下的缺陷。該系統采用了高速掃描、<400nm像素分辨率的低通量光源、0.3nm橫向和z軸分辨率的三維顯微鏡技術等多種技術。此外,該設備還采用了最新的缺陷檢測算法,以方便對掩模和晶片表面進行高通量和高效的檢查。TENCOR ARCHER 10XT可用於掩模和晶圓表面的2D、3D和基於缺陷的自動檢查。它支持500多種不同類型的缺陷,提供卓越的檢測和表征功能。該機器還能有效掃描各種類型的檢查,包括線寬/CD、臨界區域/CAD分析和粒子/缺陷檢查。該工具的高分辨率掃描光學器件可實現10nm或更小的高靈敏度檢測。資產采用開放式體系結構設計,采用模塊化配置,便於擴展和靈活性。它具有多種功能,包括遠程訪問和自動化、多個用戶支持以及多點實時查看。此外,該模型還通過包括FOUP處理、圖像庫和缺陷跟蹤在內的全方位服務選項提供高流程吞吐量。KLA Archer 10 XT還包括一套全面的過程分析工具，以允許全面的晶圓過程控制。該設備在不到三分鐘的時間內為晶片提供結果，並提供各種數據采集模式，包括抽查、光掩碼、焦點圖、線寬掃描和缺陷圖顯示。ARCHER10XT還提供全面的自動化功能,包括作業調度和協調、自動對齊和焦點控制、自動故障隔離和自動化數據分析。此外,它的模塊化設計允許使用特定於流程的軟件模塊輕松增強它,從而允許客戶根據獨特的流程要求定制其系統。總體而言，KLA ARCHER 10XT是一個提供低噪聲成像和先進缺陷檢測功能的高性能掩碼和晶圓檢測單元。KLA/TENCOR ARCHER 10XT具有高通量的流程功能、模塊化設計和自動化功能,是需要高級檢查和流程控制的客戶的絕佳解決方案。