二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9092331 待售

KLA/TENCOR Archer 10 XT是專門為光掩模、晶圓和其他半導體基板的自動檢測和分類而設計的掩模和晶片檢測設備。它是一個完全集成的、獨立的系統，結合了高性能光學、先進的圖像處理算法和激光技術，提供了對掩模特征的準確和詳細的表征。KLA ARCHER10XT利用自動化的多波長投影單元來獲取掩碼和晶片的高精度圖像數據。其投影機配備了一個10百萬像素數字CMOS圖像傳感器，其校準分辨率為3.3 μ m，總體精確測量量可達0.2 μ m。它還包括具有可變數值孔徑範圍的先進光學器件，以及根據測量要求調整照明強度和波長的激光控制模塊。圖像數據的數據處理是通過實現不同算法的自動化圖像預處理和分析工具完成的。這些算法分析有關索引、特征大小和特定屬性的圖像數據。它還應用分類算法優化數據分析，獲得特征的準確分類。一旦處理完畢，TENCOR ARCHER 10XT可以以可導出的格式產生廣泛的報告和定制的數據分析。它還可以導出原始數據文件,供其他檢查系統進一步分析。此外,它還提供了詳細的、可追蹤的質量保證控制文檔。此外,該資產與晶圓檢查和prober自動化系統完全兼容,並且可以配置為在全自動環境中運行。此外,ARCHER10XT還提供了用戶友好的圖形用戶界面（GUI）和直觀的導航功能,便於使用和操作。它還包括用於定制檢查任務的預配置模板和用戶定義模板庫,以及針對不同的掩碼和晶圓定制的多個自動配方。這樣可以更輕松地定義和保存所需的參數,從而顯著減少檢查時間和生產成本。TENCOR Archer 10 XT是光掩模和晶圓制造商的理想解決方案。它提供了一個高度準確和可靠的檢驗模型，提供了對掩模特征和缺陷的快速、準確和全面的表征和分析。