二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9182276 待售

KLA / TENCOR Archer 10 XT
ID: 9182276
Overlay measurement system, 12" Includes: Main body EFEM 2003 vintage.
KLA/TENCOR Archer 10 XT Mask&Wafer Inspection Equipment是一種自動化的高速串聯成像系統,它以最短的循環時間快速準確地檢查Mask和Wafer。該設備利用先進的光照技術和先進的光學器件,以其專有的、業界領先的自動缺陷檢測(ADD)自動化功能,生成明亮、高對比度的圖像,以便於分析缺陷。機器利用多種技術來執行任務;其中包括基於標準攝影的成像、基於10 MegaPixel CMOS的成像儀和激光衍射以及專有的高端成像工具Advanced Flow Scatterometry (AFS)。此外,KLA ARCHER10XT還配備了獨特的AFS成像技術,該技術通常可提高質量和缺陷檢測精度幾個數量級。TENCOR ARCHER 10XT具有一個大的FOV,最大視野為6英寸,允許它覆蓋範圍廣泛的掩模和晶圓尺寸。資產還具有多區域掃描功能,可同時掃描多個區域。此外,該模型還配置了高分辨率線性聲音檢測器,允許用戶查看標準成像技術可能看不見的掩碼內部特征。TENCOR Archer 10 XT的靈活性確保了它可以針對廣泛的應用進行全面優化。該設備具有用戶可編程的曝光時間、光源強度、評分閾值和缺陷區域識別設置。它還與一系列第三方軟件包兼容,允許用戶自定義系統以滿足他們的特定要求。KLA/TENCOR ARCHER 10XT還具有高級報告和分析功能,使用戶無需等待即可快速訪問所有數據和分析結果。其用戶友好的設計確保了易用性,並且該設備配備了易於跟蹤的用戶手冊,使用戶可以快速輕松地學習如何正確使用它。KLA/TENCOR ARCHER10XT Mask&Wafer Inspection Machine是任何需要快速準確檢查Mask和Wafer的應用的理想解決方案。其靈活、易於使用的設計以先進的成像、分析和報告技術為後盾,使其成為快速準確檢測缺陷的卓越工具。
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