二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9250148 待售

KLA/TENCOR Archer 10 XT是一種掩模和晶圓檢測設備，為一系列半導體工藝節點提供高通量和精確計量。KLA ARCHER10XT設計用於檢測最小的特征,包括0.05 µm的線寬,使其成為5/5nm等高端技術節點的理想選擇。該系統提供高達20 µm的更廣闊視野（FOV）,實現了現場到現場、步進和重復的測量。通過使用先進算法，TENCOR ARCHER 10XT即使在極低對比度圖像中也能準確地確定粒子的存在及其特性。KLA/TENCOR ARCHER10XT是建立在一個先進的矽絕緣體（SOI）晶片上的，即使在非常小的尺寸上也能檢測到粒子。先進的亮場光學元件,加上更大的動態範圍和更大的曝光範圍,支持在暗面和反射面以及所有臨界層深度檢測缺陷。該裝置的獨特之處在於其混合照明機，它結合了增強的暗場、明場和傾斜照明，以更好的對比度和成像。ARCHER10XT的高級軟件包括專有算法和同時捕獲多個圖像,以提高缺陷靈敏度和錯誤的呼叫減少。該工具還提供了廣泛的測量技術,並結合了易於使用的「智能捕獲」工具,該工具可優化檢查設置以提高吞吐量、準確性和可靠性。TENCOR ARCHER10XT還提供了一套獨特的檢查功能,包括邊緣檢測、特征識別和屏障層測量。邊緣檢測功能還可以通過掃描包括覆蓋在內的全臨界掩模層來更好地分析掩模特征。先進算法支持的特征識別技術可更快、更準確地測量復雜的形狀和圖案。最後,屏障層測量功能提供高達0.01µm的精度,確保高保真模式測量,即使對於狹窄的溝線也是如此。這些功能結合起來，為TENCOR Archer 10 XT提供了一個可靠高效的掩模和晶圓檢測解決方案。該資產為一系列半導體工藝節點提供了先進的計量，其精確度和精確度在業界是無與倫比的。