二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT+ #9261900 待售

KLA Archer™ 10 XT+是一種全自動的高端設備,用於掩模和晶圓檢查。該系統專為高級IC制造應用而設計,用於檢測光掩碼和晶片中的缺陷。KLA/TENCOR Archer 10 XT+采用高分辨率成像技術,可提供高圖像質量和清晰聚焦,用於檢測表面上的微小缺陷。它有一個自動化的計量單元，可以測量和分析各種各樣的模式和特征。機器的軟件控制，5軸直線電動機級允許快速和精確的操作面罩和晶片。該工具配備了激光幹涉掃描儀，每晶圓可提供高達100億個測量點。它還有一個激光照明、超窄場檢查頭，有一個可用於高分辨率掃描檢測關鍵缺陷的照明顯微鏡區域。KLA Archer 10 XT+采用強大的圖像識別技術來識別缺陷。其影像分析處理資產（Imaging Analysis Processing Asset，IAPS）可以自動輸出缺陷狀態的數據，並能從過程汙染中檢測出微小顆粒、劃痕和微小顆粒。此外,該模型的遠程診斷功能還提供了用於缺陷信息評估、故障診斷和設備運行狀態監控的遠程訪問。最後,TENCOR Archer 10 XT+提供了快速校準功能,能夠以最小的停機時間實現準確和可量化的結果。其高精度、自動化的校準設備可以測量光學器件和機械級系統的對準，以確保最高的精度和可重復性。該單元能夠為各種應用程序提供可靠的檢查解決方案。它可以檢查最苛刻的嵌入式缺陷檢測需求，包括微米級缺陷和基於模式的檢測，以及蝕刻和抵抗相關缺陷。其高端技術和特點可確保快速準確地檢測缺陷,同時提高工藝穩定性和產量。